Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Gecontroleerde Leverancier Chemische dampafzetting maakt gebruik van plasma-versterkte chemische dampafzetting technologie, die plasma met hoge energie kan gebruiken om het reactieproces te bevorderen, de reactiesnelheid effectief te verhogen en de reactietemperatuur te verlagen.
Het is geschikt voor het neerleggen van dunne films van siliciumnitride, amorf silicium en microkristallijne silicium op verschillende substraten zoals optisch glas, silicium, kwarts en roestvrij staal. Het heeft een goede kwaliteit van filmvorming, minder gaatjes en is niet makkelijk te kraken. Het is geschikt voor de bereiding van amorfe silicium en microkristallijne silicium dunne film zonnecelapparaten. Het kan op grote schaal worden gebruikt in het wetenschappelijk onderzoek en de kleine batch-voorbereiding van dunne-filmmaterialen in universiteiten en universiteiten en wetenschappelijke onderzoeksinstellingen.
|
RF -voeding |
Signaalfrequentie |
13,56 MHz |
|
|
Vermogensbereik |
0 ~ 500 W. |
||
|
Maximaal gereflecteerd vermogen |
100 W. |
||
|
Gereflecteerd vermogen (bij maximaal vermogen) |
<5 W. |
||
|
Stabiliteit van vermogen |
±0.1% |
||
|
Werkkamer |
Verwarmingstemperatuur |
RT-1000ºC |
|
|
Nauwkeurigheid van de temperatuurregeling |
±1 ºC |
||
|
Monsterhouder |
Φ200mm |
||
|
Draaisnelheid van monsterhouder |
1-20 tpm instelbaar |
||
|
Grootte spuitkop |
Φ90mm |
||
|
Afstand |
De afstand tussen de spuitkop en het monster bedraagt 40 mm traploos instelbaar |
||
|
Werkvacuüm voor depositie |
0. 133- 133 Pa (kan worden aangepast volgens het technische proces) |
||
|
Flens |
De bovenste flens kan door de motor worden opgetild, het substraat is gemakkelijk te vervangen en er is een visueel venster |
||
|
Kamer |
Roestvrij staal, Φ500mm * 500 mm |
||
|
Observatievenster |
Φ100mm, met keerplaat |
||
|
Gastoevoer systeem |
Kanaalnummers |
6 |
|
|
Meeteenheid |
Regelaar van de massastroom |
||
|
Meetbereik |
Een kanaal: 0~200SCCM voor H2 |
Opmerkingen: Als er andere bereiken nodig zijn, geef dit dan aan bij het bestellen. Volgens de specifieke eisen van de klant is de debietmeter van het betreffende type en bereik van gas optioneel. |
|
|
B -kanaal: 0~200SCCM voor CH4 |
|||
|
C -kanaal: 0~200SCCM voor C2H4 |
|||
|
C -kanaal: 0~500SCCM voor N2 |
|||
|
D -kanaal: 0~500SCCM voor NH3 |
|||
|
E -kanaal: 0~500SCCM voor Ar |
|||
|
Meetnauwkeurigheid |
±1.5% F.S. |
||
|
Verschil in werkdruk |
-0.15Mpa~0.15Mpa |
||
|
Verbindingsleiding |
304 roestvrij staal |
||
|
Gaskanaal |
304 roestvrijstalen naaldklep |
||
|
Interfacespecificatie |
1/4" -connector voor gasinlaat en -uitlaat |
||
|
Vacuümsysteem |
Achteruitpomp |
4,7 l/s. |
|
|
Moleculaire pomp |
1200 l/s. |
||
|
Vacuümmeting |
Samengestelde vacuümmeter, bereik 10 - 5 Pa ~ 105 Pa |
||
|
Vacuümgraad |
5.0*10-3Pa |
||
|
Waterkoeler |
Koelwatertemperatuur |
<=37ºC |
|
|
Waterstroming |
10 l/min. |
||
|
Vermogen |
0,1 KW |
||
|
Koelvermogen |
50 W/ºC |
||
|
Voeding |
AC220V 50 Hz |
||
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Gecontroleerde Leverancier 
