Lab Dual Zone CVD apparatuur die Pecvd Plasma Enhanced Chemical combineert Dampafzetting

• After-sales Service: Online Support
• Warranty: 1 Year
• certificaat: CE
• Structuur: Horizontal Type
• Merk: Cyky
• productnaam: pecvd tube-ovensysteem
• max. temperatuur: 1200 °c.
• materiaal van de buis: kwartsbuis
• verwarmingselement: weerstandsdraad
• verwarmingszone: 3 zones
• lengte verwarmingszone: Per 400mm
• gasstroommeter: 3 kanalen
• rf-generator: 300 w.
• frequentie: 13,56 mhz
• Transportpakket: Wooden Case
• Handelsmerk: cykyfurnace
• Oorsprong: China
• Gs-Code: 85141090
• Productiecapaciteit: 500 Sets Per Month

Beschrijving

Productbeschrijving

Plasma Enhanced CVD-buisoven/PECVD-systeem  Inleiding voor PECVD-buis Fornuis

 

PECVD PE afzetting van chemische damp

Is een betaalbaar en compact PECVD -     buisoven (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)   met schuifbaar mechanisme .  Het bestaat uit een RF  -plasmagenerator van 300 W , een 2"O.D -oven met split tube  en de  geïntegreerde schuifrail  die u  in staat stelt de    oven voor te verwarmen en naar  de  sample -zone te schuiven om    uw monster onmiddellijk  onder  hoge temperatuur te kunnen blootstellen.  Dit systeem kan   worden bijgewerkt naar een geavanceerd model met opties.   Het is een ideaal instrument voor  de  onderzoeker om  innovatie te maken onder een beperkt budget.

 

Kenmerken van PECVD-apparatuur

 

1.lagere temperatuurverwerking  in vergelijking met conventionele CVD.   

2.Hoge verwarmings- en  koelsnelheid  met behulp van een glijdende oven   

3. De spanning van de film  kan   worden beheerst door middel   van hoge/lage-frequentie-mengtechnieken.   

4.controle over stoichiometrie via procescondities .  

5.kan een  breed scala aan materiaaldepositie doen, waaronder SiOx, sinx, SiOxNy en  amorf silicium (A-Si:H) .

 

Technische parameters van PECD-apparatuur

Buisoven met plut	Ingangsvermogen : 208 - 240 V AC, 1,2 kW 1200°C Max. Bedrijfstemperatuur  gedurende < 60 minuten 1100°C Max voor continue verwarming Kwartsbuis met hoge zuiverheid   , 2 inch buitendiameter x 1.7 inch binnendiameter x  39.4 inch lengte   programmeerbare   precisie digitale temperatuurregelaar met 30 segmenten   200 mm (8 inch), één zone.  2.3 inch (60 mm)  (+/-1°C) bij 1000°C.
Plasma RF -generator	Uitgangsvermogen :           5 -300 W instelbaar met ± 1% stabiliteit RF -frequentie:           13.56 MHz ±0.005% stabiliteit Reflectievermogen :       Max. 200 W.   Matching:                 Automatisch RF -uitgangspoort :        50 ohm, N-type, vrouw Geluid:                      <50 dB.   Koeling:                    Luchtkoeling .   Voeding :                     208 VAC, 50 Hz
Vacuümflens  en fittings	De vacuümflens  is   gemaakt van roestvrij staal  304.   De linker flens  bevat een vacuümpoort KF-25  ,  twee KF-25   snelklem , Een haakse KF-25   -klep, een KF-25 -vacuümbalg , een flens   Ondersteuning 1/4 O.D   slangkoppeling  en een naaldklep . De rechter flens is voorzien van een digitale pirani -meter, 1/4 O.D   buisfitting , 1/4"  doorvoer en een naaldklep .
Vacuümpomp	AC 220 V 50 HZ  1/2 PK  375 W. 2 liter /S  of 120 liter/m.   Olievanger  (inlaat) en uitlaatfilter  (uitlaat) zijn gemonteerd. Max. Vacuüm:  10-2 torr
Garantie	Eén jaar beperkte garantie met ondersteuning voor de heftijd    (Verbruiksartikelen  zoals   omdat  de buizen,  o-ringen en verwarmingselementen   niet bedekt zijn   door de garantie)

 

V. bent u een fabrikant of een handelsmaatschappij?

A. wij zijn professionele fabrikanten van laboratoriuminstrumenten, hebben een eigen ontwerpteam en fabriek, hebben een volwassen technische ervaring en kunnen de kwaliteit van producten en de optimale prijs garanderen.

 

V. Hoe is het aftersales-servicesysteem van uw bedrijf?

A.  de garantieperiode van het product is 12 maanden, we kunnen levenslange onderhoudswerkzaamheden uitvoeren. We hebben professionele pre-sales- en aftersales-afdelingen die binnen 24 uur op u kunnen reageren om eventuele technische problemen op te lossen.

 

V. Hoe lang is uw levertijd? Hoe lang duurt het als ik het instrument wil aanpassen?

A.1. Als de goederen op voorraad zijn, is het 5-10 dagen. We kunnen onze klanten op maat gemaakte diensten aanbieden. Het duurt gewoonlijk 30-60 dagen, afhankelijk van de specificaties van het aangepaste instrument.

 

V. de stroomvoorziening en stekker in ons land zijn verschillend. Hoe lost u het op?

A. we kunnen een transformator en stekker leveren volgens uw lokale vereisten, afhankelijk van de stekker van verschillende landen.

 

V. Hoe te betalen?

A.T / T, L / C, D / P, enz., wordt het gebruik van Alibaba Trade Guarantee aanbevolen.

 

V. Hoe is het pakket goederen? Leveringsmethoden?

A.1. Standaard export fumigatie teken houten doos verpakking 2. Express, lucht, zee scheepvaart volgens de eisen van de klant, vinden de meest geschikte manier.