| Maatwerk: | Beschikbaar |
|---|---|
| Certificering: | CCC, CE, RoHS |
| diameter: | 150 ±0.25 mm |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
De n-Type substraten zijn een essentieel en belangrijk materiaal ter ondersteuning van de ontwikkeling van de energie-elektronica-industrie, die op grote schaal kan worden gebruikt in hoogfrequente elektronische apparaten, elektrische voertuigen, fotovoltaïsche frequentieregelaars, railtransit-energiesystemen, enz.
Het bedrijf levert voornamelijk geleidende siliciumcarbide-substraten, die geschikt zijn voor de productie van stroomvoorzieningen zoals Schottky-diodes, MOSFET's en IGBTs. De afmetingen zijn voornamelijk 2 inch, 4 inch, 6 inch en 8 inch, en niet-standaard formaten kunnen worden aangepast.
| Nee | Items | Eenheid | Ultra-P-kwaliteit | Productiekwaliteit | Onderzoeksniveau | Dummy-klasse |
| 1.Boule-parameters | ||||||
| 1.1 | Poly-type | -- | 4 UUR | |||
| 1.2 | Fout in de richting van het oppervlak | ° | 4° naar <11-20>±0.15° | 4° naar <11-20>±0.5° | 4° naar <11-20>±0.5° | 4° naar <11-20>±0.5° |
| 2.Elektrische parameters | ||||||
| 2.1 | doopant | cm-³ | n-type stikstof | |||
| 2.2 | weerstand | ohm·cm | 0.016 ~ 0,024 ohm·cm | 0.015 ~ 0,025 ohm·cm. | 0.015 ~ 0,025 ohm·cm. | NA |
| 3.Mechanische parameters | ||||||
| 3.1 | diameter | mm | 150 ±0.25 mm | |||
| 3.2 | hickness | μm | 350±25 μm | |||
| 3.3 | Primaire vlakke oriëntatie | ° | [1-100]±5° | |||
| 3.4 | Primaire platte lengte | mm | 47.5±1,5 mm | 47.5±2,5 mm | 47.5±2,5 mm | 47.5±2,5 mm |
| 3.5 | LTV | μm | ≤2 μm (10 mm x 10 mm) | ≤5 μm (10 mm x 10 mm) | ≤10 μm (10 mm x 10 mm) | ≤15 μm (10 mm x 10 mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm | ≤20 μm |
| 3.7 | Boog | μm | -15 μm~15 μm | -25 μm~25 μm | -45 μm~45 μm | -65 μm~65 μm |
| 3.8 | Verdraaien | μm | ≤20 μm | ≤35 μm | ≤50 μm | ≤70 μm |
| 3.9 | (AFM)Front(Si-face)ruwheid | nm | RA≤0,2 nm | RA≤0,2 nm | RA≤0,2 nm | RA≤0,2 nm |
| 4.structuur | ||||||
| 4.1 | dichtheid van de micropijp | ea/cm² | ≤0.15 ea/cm² | ≤0.5 ea/cm² | ≤1 ea/cm² | ≤2 ea/cm² |
| 4.2 | metaalgehalte | atomen/cm² | ≤5E10 atomen/cm² | ≤1E11 atomen/cm² | ≤1E11 atomen/cm² | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm² | ≤100ea/cm² | ≤300ea/cm² | ≤500ea/cm² | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm² | ≤600ea/cm² | ≤1000ea/cm² | ≤1500 ea/cm² | NA |
| 5.kwaliteit voorzijde | ||||||
| 5.1 | voor | -- | SI | SI | SI | SI |
| 5.2 | oppervlakteafwerking | -- | SI-Face CMP | SI-Face CMP | SI-Face CMP | SI-Face CMP |
| 5.3 | deeltje | ea/wafer | ≤60(grootte≥0.3 μm) | ≤100(grootte≥0.3 μm) | NA | NA |
| 5.4 | krassen | ea/mm | ≤2,totale lengte≤1/2*diameter | ≤5,totale lengte≤diameter | NA | NA |
| 5.5 | spaanders/inspringen/scheuren/sti | -- | Geen | Geen | Geen | NA |
| 5.6 | Polytype gebieden | -- | Geen | ≤0.5% cumulatief gebied) | ≤2%cumulatief gebied) | ≤5% cumulatief gebied) |
| 5.7 | markering voor | -- | Geen | Geen | Geen | Geen |
| 6.Back-kwaliteit | ||||||
| 6.1 | afwerking aan de achterkant | -- | C-face gepolijst | |||
| 6.2 | krassen | ea/mm | ≤5,totale lengte≤diameter | NA | NA | NA |
| 6.3 | Achterkant vertoont defecten aan de rand | -- | Geen | Geen | Geen | NA |
| 6.4 | Achterruwheid | nm | RA≤0,2 nm (5 μm*5 μm) | RA ≤5 nm | RA ≤5 nm | RA ≤5 nm |
| Rand | ||||||
| 7.1 | Wafer Edge | -- | Afschuining | Afschuining | Afschuining | Afschuining |
| 8.verpakking | ||||||
| 8.1 | Verpakking | -- | EPI-gereed met vacuümverpakking | |||
| 8.2 | Verpakking | -- | Multi-waferorverpakking met enkele wafer-cassette | |||
| SEMI-STDNotes:„na” betekent geen verzoek.items die niet zijn opgenomen, kunnen verwijzen naar SEMI-STD. | ||||||
V1: Wat is de manier van verschepen ?
A: We accepteren DHL, FedEx, TNT, UPS, EMS, SF en dergelijke
V2: Hoe te betalen?
A: T/T, PayPal en dergelijke.
V3: Wat is de tijd die nodig is om te leveren?
A: Voor voorraad: De levertijd is 10 werkdagen. Voor producten op maat: De levertijd is 10 tot 25 werkdagen. Afhankelijk van de hoeveelheid.
V4: Kan ik de producten aanpassen op basis van mijn behoeften?
A: Ja, we kunnen de specificaties aanpassen aan uw behoeften.
V5: Hoe kan ik de kwaliteit van uw producten garanderen?
A: Strikte detectie tijdens de productie.strikte monstername-inspectie van producten vóór verzending en intact productverpakking verzekerd.
