Laboratorium kwartsbuis Pecvd oven met weerstandsdraad en vacuüm Systeem

• After-sales Service: on-Line Service
• Warranty: One Year
• Application: Industry, School, Lab
• Customized: Customized
• Certification: CE
• Structure: Portable
• Model NR.: TN-1200X-III-50IC
• Material: Stainless Steel
• Type: Tubular Furnace
• productnaam: CVD Tuber Furnace
• materiaal van de buis: kwarts met hoge zuiverheid
• temperatuur: 1200 °c.
• verwarmingszone: 200 mm*2
• grootte van de ovenbuis: 50*450 mm
• temperatuurnauwkeurigheid: 1 c.
• Transportpakket: Fumigated Wooden Box
• Handelsmerk: TN
• Oorsprong: China
• Gs-Code: 8401200000
• Productiecapaciteit: 20 Sets Per Month

Beschrijving

Productbeschrijving

 Laboratorium kwartsbuis PECVD oven met weerstandsdraad en vacuüm Systeem

1. Dit CVD-systeem is speciaal ontworpen voor de productie van grafieen, waarbij gebruik wordt gemaakt van een mini -buisoven van 1200 ºC, uitgerust met een hoge-
   nauwkeurige massaflowmeter en een dunne laagspanningsmeter.

2. Vergeleken met de conventionele Pirani-weerstandsmeter is de aflezing van de dunne-filmmeter nauwkeurig en wordt deze niet beïnvloed door de
   type gas, dat zeer geschikt is voor het vacuümcoatingproces.

3. De CVD-buisoven is uitgerust met een brandbaar gasdetectieapparaat, dat is verbonden met een elektromagnetische klep aan de lucht
   uitlaat. Zodra er een lekkage is, kan de solenoïdeklep worden gesloten om de veiligheid te garanderen.

De CVD-buisoven heeft een voetafdruk en is zeer geschikt voor laboratoriumvoorbereiding van CVD.

Productparameters

Specificaties van PECVD

RF -voeding	Signaalfrequentie	13,56 MHz±0.005%
	Vermogensbereik	0 ~ 300 W.
	Maximaal gereflecteerd vermogen	100 W.
	Gereflecteerd vermogen (bij maximaal vermogen)	<3 W.
	Stabiliteit van vermogen	±0.1%
Buisoven	Materiaal van de buis	Kwarts met hoge zuiverheid
	Buitendiameter van buis	100 mm
	Lengte van de buis	1200 mm
	Lengte van de ovenkamer	440 mm
	Lengte verwarmingszone	200 mm+200 mm (twee temperatuurzones)
	Constante temperatuur zone lengte	200 mm
	Continue bedrijfstemperatuur	Max. 1100 ºC
	Nauwkeurigheid van de temperatuurregeling	±1 ºC
	Temperatuurregelmodus	30 -segments programmatemperatuurregeling
	Weergavemodus	LCD
	Sealmethode	304 roestvrijstalen vacuümflens
Gastoevoer   systeem	Model	CY-6Z
	Kanaalnummers	6
	Meeteenheid	Regelaar van de massastroom
	Meetbereik	Een kanaal: 0~200SCCM voor H2	Opmerkingen: Als er andere bereiken nodig zijn, geef dit dan aan bij het bestellen. Volgens de specifieke eisen van de klant is de debietmeter van het betreffende type en bereik van gas optioneel.
		B -kanaal: 0~200SCCM voor CH4
		C -kanaal: 0~200SCCM voor C2H4
		C -kanaal: 0~500SCCM voor N2
		D -kanaal: 0~500SCCM voor NH3
		E -kanaal: 0~500SCCM voor Ar
	Meetnauwkeurigheid	±1.5% F.S.
	Verschil in werkdruk	-0.15Mpa~0.15Mpa
	Verbindingsleiding	304 roestvrij staal
	Gaskanaal	304 roestvrijstalen naaldklep
	Interfacespecificatie	1/4" -connector voor gasinlaat en -uitlaat
Vacuümsysteem	Mechanische pomp	Tweetraps schoepenpomp
	Pompsnelheid	1,1 L/S
	Vacuümmeting	Weerstandsmeter
	Ultieme zuigkracht	1,0E-1Pa
	Pompinterface	KF16
Schuifrail		Kan het verschuiven van twee temperatuurzone-ovens bereiken, om een snelle temperatuurstijging en -daling te realiseren.
Voeding		AC220V 50 Hz

 

 

Gedetailleerde foto's

WE hebben een CVD/PECVD-machine met gasvoorzieningssysteem + vacuümsysteem + buisoven + plasmagenerator.

2. Buisoven (temperatuur): 1200C, 1400C, 1600C, aangepaste temperatuur is beschikbaar.

3. Buisoven (verwarmingszone): Één zone, twee zones, drie zones, aangepast aantal verwarmingszones is beschikbaar.

4. Tube Materiaal: kwarts, korund, legering en ander materiaal van buis is aanpasbaar.

5. Buis met verschillende diameter en lengte kan worden aangepast.

6. Plasmagenerator: 100 W, 150 W, 300 W, 500 W, 1000 W, en andere kracht van de plasmagenerator is aanpasbaar.

Flowmeter: 1 tot 3 of meerkanaals flowmeter is optioneel op basis van uw proces.

CVD/PECVD-- buisoven met 1200C-verwarmingszone met drievoudige verwarming  

PECVD-- rol- naar rol

PECVD-- roterend type

Bedrijfsprofiel

Verpakking en verzending

We kunnen de CVD, PECVD machine over zee, door de lucht, over land en per Express verzenden, ook kunnen we de verzending regelen op basis van uw wensen.

VEELGESTELDE VRAGEN

V. bent u fabrikant of handelsbedrijf?
A. we zijn professionele fabrikant van laboratoriuminstrumenten, we hebben een professioneel R&D-team en een workshop, die de quulaity en after-sale service kunnen beloven.  

V. Hoe is uw garantie?
A.  onze garantie is 12 maanden en biedt levenslange onderhoudsbeurten. We bieden 24 uur on line service.

V. Hoe lang is uw levertijd? Hoe lang duurt het als ik het instrument wil aanpassen?
A. 5-10 dagen in de winkel. Producten op maat---- het duurt meestal 30-60 dagen, afhankelijk van uw behoeften.

V. voeding en stekker?
A. we kunnen producten leveren die voldoen aan uw lokale voltage- en stopnormen.

V. Hoe te betalen?
A.  T T, L / C, D / P, ENZ.

V. Hoe is het pakket goederen? Leveringsmethoden?
A.  Standaard export fumigatie teken houten doos verpakking of als uw eisen.

Neem contact met ons op.

ZULLEN WE UW PROJECT BESPREKEN?

Neem contact met ons op en we kunnen samenwerken om u de antwoorden en oplossingen te geven die u nodig hebt.
Hoe kunnen we u helpen uw doelen te bereiken? Welke technische obstakels kan ons technische team u helpen te overwinnen? Druk op de knop 'Get in Touch' om contact met ons op te nemen. We horen graag over uw onderzoek en helpen u op welke manier dan ook.